真空等离子清洗机工作原理及应用
发表时间： 2023-08-12 15:26:08
作者： 深圳市甲岸科技有限公司
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真空等离子清洗机的工作原理是利用低压气体辉光等离子体，在高频低压下，一些非聚合性无机气体（如Ar2、N2、H2、O2等）被激发产生含有离子的活性物质。这些活性等离子通过等离子体的“活性”组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
在真空腔体里，给一组电极施以射频电压（频率约为几十兆赫兹），电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，产生高能量的无序的等离子体。活性等离子对被清洗物进行表面物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，以达到清洗、活化、接枝等目的。
真空等离子清洗机广泛应用于以下领域：
1、半导体制造：在半导体制造过程中，等离子清洗技术可以用来清洗各类半导体器件、光学器件、生物医学器械等，有效清除表面各类污染和杂质，达到高纯度的清洗效果。
2、光电子制造：在光电子制造领域，真空等离子清洗机可以用来处理各类光学器件，提高其表面洁净度和亲水性，有利于后续的粘接、涂层等工艺。
3、生物医药制造：在生物医药制造领域，真空等离子清洗机可以用来处理生物医学器械和其他相关部件，有效清除表面污垢、有机物和尘埃杂质等，提高表面的洁净度和亲水性，有利于后续的粘接、涂层等工艺。
此外，真空等离子清洗机还可以应用于航空航天、汽车等领域。它具有高效、环保、无需用水、无需使用有机溶剂等优点，被广泛应用于电子、半导体、医疗、航空航天、汽车等领域。
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