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定制等离子体表面处理仪需要提供哪些参数?

发表时间: 2023-08-30 17:14:31

作者: 深圳市甲岸科技有限公司

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定制等离子体表面处理仪需要提供以下参数:

1、等离子体功率

这是生成等离子体的能量,通常以瓦特(W)为单位,可以根据处理材质的特性和处理效果的需求来调整。

2、等离子体密度

这是等离子体中离子和电子的数量,通常以/cm³为单位,可以根据处理效果的需求来调整。

3、处理室压力

这是控制等离子体反应的重要参数,通常以帕斯卡(Pa)为单位,可以根据处理效果的需求来调整。

4、处理室温度

这也是控制等离子体反应的重要参数,通常以摄氏度(℃)为单位,可以根据处理效果的需求来调整。

5、气体流量

这是控制等离子体反应的重要参数,通常以标准升每分钟(sccm)为单位,可以根据处理效果的需求来调整。

此外,还需要考虑其他的因素如产品特性、产品放置、工艺要求、产量要求、均匀性要求、电源频率要求、腔体结构、工艺气体选择等,这些因素也会影响等离子表面处理设备的效果。



定制等离子体表面处理仪需要提供哪些参数?
定制等离子体表面处理仪需要提供的参数有:等离子体功率、等离子体密度、处理室压力、处理室温度、气体流量、产品特性、产品放置、工艺要求、产量要求、均匀性要求、电源频率要求、腔体结构、工艺气体选择等。
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