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LED等离子清洗机

应用范围:
LED固晶前、点银胶前、引线键合前、LED封胶前等离子清洗,产品在荧光粉涂覆后等离子清洗。


甲岸科技LED等离子清洗机


甲岸科技LED等离子清洗机针对LED封装工序设计,主要对LED固晶前、点银胶前、引线键合前、LED封胶前等离子清洗,氧化层还原,表面性能活化等功效,增强材料表面的打线,粘接工艺能力,有利于下一道工艺的进行。



产品应用


1、广泛用于LED固晶前、点银胶前、引线键合前、LED封胶前等离子清洗,产品在荧光粉涂覆后等离子清洗。

2、提高材料清洁度、附着力、粘接力以及表面分子的活性


产品特点


  • 点银胶前:使工件表面粗糙度及亲水性大大提高,有利于银胶平铺及芯片粘贴,同时可大大节省银胶的使用量,降低成本
  • 引线键合前:显着提高其表面活性,从而提高键合强度及键合引线的拉力均匀性。降低键合的温度,提高产量,降低成本
  • LED封胶前:使芯片与基板会更加紧密的和胶体相结合,气泡的形成将大大减少,同时也将显着提高散热率及光的出射率







型号

AP-VM150

等离子源系统

频  率

13.56MHz  射频

40KHz  中频

功  率

0~1000W可调

0-5000W可调

             选 配

真空系统

真空腔体

材质

316L不锈钢、航空铝(选配)

腔体内部尺寸(MM)

500*600*500(宽高深)

腔体容积

150L

极板

17层,水平式,活动可调节

密封性

军工级焊接密封

泵组

油泵/干泵+罗茨泵组合(选配)

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

1×105~1×10-1Pa

质量流量计

<±1% FS

气路控制

2-4路处理气体气路,气体流量可调

极限真空

5Pa

适用气体

流量范围

0-500SCCM(可调)

工艺气体

Ar、N₂、O₂、H₂等等(可选)

控制系统

1、PLC 自动控制;

2、7寸触摸屏,图形用户界面;

3、配方程序为 0~99;

4、多级权限操作;

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息;

6、存储工艺数据及错误信息;

7、报警信息提示及追溯;

8、图形化界面检测处理参数;

9、自动、手动操作可切换;

10、维护提示紧急停止按钮;

11、门感应器和真空互锁;

12、机器运行信号指示;

13、机器运行结束提示;

外观参数

外形尺寸(MM)

850*1700*1020(宽高深)

重  量

700KG

设施配置

电  力

五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定

压缩空气

干燥压缩空气CDA

其  它

提供操作手册、维护手册、安装手册,易损件备件清单.


LED等离子清洗机
应用范围:
LED固晶前、点银胶前、引线键合前、LED封胶前等离子清洗,产品在荧光粉涂覆后等离子清洗。
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