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等离子去胶机

选择【甲岸科技】等离子去胶机的理由:
1、可以根据客户需求定制。
2、小巧、操作简单、易维护。
3、进口针阀精密流量控制计,精度高。
4、引进德国核心等离子技术,质量有保障。
5、多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。
6、316不锈钢材质,耐腐蚀,环保不产生金属污染。


甲岸小型等离子去胶机外观简洁,系统集成度高,模块化设计,适用于半导体、生物技术、材料等领域。性能优异,可提供优秀的工业控制、故障报警系统和数据采集软件。可满足科研生产的严格控制要求。

影响等离子去胶机使用的四大因素

一、调整合适的频率

频率越高,氧越容易电离形成等离子体。如果频率过高,使电子振幅短于其平均自由程,电子与气体分子碰撞的概率就会降低,导致电离率降低。通常,公共频率为13.56MHz和2.45GHz。


二、调整适当的权力

关于一定量的气体,功率大,等离子体中活性粒子的密度也高,脱胶速度也快;但当功率增加到一定值时,响应消耗的活性离子达到饱和,脱胶速度随功率的增加不明显增加。由于功率大,衬底温度高,需要根据技术要求调整功率。


三、调整合适的真空度

适当的真空度可以使电子运动的平均自由程更大,因此从电场中获得的能量更大,有利于电离。此外,当氧气流量必须准时时,真空度越高,氧气的相对份额越大,活性颗粒浓度越大。但如果真空度过高,活性粒子的浓度反而会降低。


四、氧气流量的调整

氧气流量大,活性颗粒密度大,脱胶速率加快;但如果通量过大,离子的复合几率增加,电子运动的平均自由程缩短,电离强度反而降低。如果回转室的压力不变,流量增加,则还增加了被抽出的气体量,也增加了不参与回转的活性颗粒量,因此流量对脱胶率的影响不是很显著。


选择【甲岸科技】等离子去胶机的理由:

1、可以根据客户需求定制。

2、小巧、操作简单、易维护。

3、进口针阀精密流量控制计,精度高。

4、引进德国核心等离子技术,质量有保障。

5、多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。

6、316不锈钢材质,耐腐蚀,环保不产生金属污染。


  

AP-RR8

等离子源系统

  

13.56MHz  射频

 

0~300W可调

真空系统

真空腔体

材质

 

腔体内部尺寸

Φ250 * Dept.260(直径*mm)

腔体容积

12 L

处理最大尺寸

8英寸

真空泵

干泵

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

1×105~1×10-1Pa

质量流量计

<±1% FS

气路控制

4路处理气体气路,气体流量可调

极限真空

5Pa

流量范围

0-500SCCM(可调)

工艺气体

ArN₂、O₂、H等等(可选)

外观参数

外形尺寸(MM)

750*450*500(**深)

   

55KG

设施配置

   

单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。


等离子去胶机
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4、引进德国核心等离子技术,质量有保障。
5、多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。
6、316不锈钢材质,耐腐蚀,环保不产生金属污染。
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